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EAGLE F系列底片检查机

产品概述:

精准

EAGLE F系列底片检查机光学分辨率可达5μm,最小可有效检测10μm的开路、短路、缺口、毛刺、针孔等微小缺陷。

可靠

EAGLE F系列底片检查机可有效检出尺寸26"×31"(660mm×780mm),最小2mil线宽/线距的底片,关键缺陷(如开路、短路)零漏检,误检率小于10%,为目前行业领先水平。

高效

EAGLE F系列底片检查机检测一张18"×24"(458mm×610mm)大小底片最快仅需40秒,CAM资料导入分析仅需2~10 秒,为目前行业最快速度。无需单独的建模工作站。设备误报少,提供缺陷快速浏览模式,缺陷复查确认效率高,有效提高检测效率,设备实际产能业内领先。

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